【仪器参数】生产厂家：日立；

型号：SU-8010

加速电压：0.1 - 30kv； 放大倍率：30 - 800000

分辨率：  1.0nm（加速电压15kv，WD = 4.0mm）；

1.3nm（加速电压1 kv，WD = 1.5mm）

【仪器地点】玉泉校区教八108

【收费标准】系内200元/小时；校内系外：300元/小时

【负责人】陈芳

【仪器使用联系人】15257155137    kenobi@163.com

【仪器用途】

场发射扫描电子显微镜可对金属、无机非金属、高分子材料及生物样品等的表面显微结构和形貌进行分析。试样制备简单，绝大部分材料样品可以直接观察，部分样品表面喷金后成像效果更佳。该仪器配备高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。

【仪器基本结构和成像原理】

扫描电镜的基本结构可分为电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、真空系统和电源及控制系统六大部分。其成像原理是：由电子枪发射的具有一定能量的电子的交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。

【注意事项】

1、保持样品清洁、干燥

2、磁性粉末样品不能做。导磁性样品会磁化电镜的极靴，一旦吸到物镜极靴上，降低电镜的分辨率，影响电镜的性能。