【仪器参数】生产厂家:日立;
型号:SU-8010
加速电压:0.1 - 30kv; 放大倍率:30 - 800000
分辨率: 1.0nm(加速电压15kv,WD = 4.0mm);
1.3nm(加速电压1 kv,WD = 1.5mm)
【仪器地点】玉泉校区教八108
【收费标准】系内200元/小时;校内系外:300元/小时
【负责人】陈芳
【仪器使用联系人】15257155137 kenobi@163.com
【仪器用途】
场发射扫描电子显微镜可对金属、无机非金属、高分子材料及生物样品等的表面显微结构和形貌进行分析。试样制备简单,绝大部分材料样品可以直接观察,部分样品表面喷金后成像效果更佳。该仪器配备高性能X射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。
扫描电镜的基本结构可分为电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、真空系统和电源及控制系统六大部分。其成像原理是:由电子枪发射的具有一定能量的电子的交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。
【注意事项】
1、保持样品清洁、干燥
2、磁性粉末样品不能做。导磁性样品会磁化电镜的极靴,一旦吸到物镜极靴上,降低电镜的分辨率,影响电镜的性能。